InP　GaAs　エピウエハ写真　




ISO9001:2000 Certified
  • 米国Intelligent Epitaxy社 （IntelliEPI社）は、InP/GaAs/ＧａＳｂ/Si系エピウエハおよびGaSb基板の製造販売を行っています。

  • IntelliEPI社は、MBE（分子線結晶成長）法のみによるエピ成長を行っています。 長年のノウハウをもとに、エピ成長を再現性よくかつ高精度に行うための独自技術を開発し、特許を取得しています。 また、InPエピウエハとしては業界初の4インチ化を実現するとともに、早くからC-doping技術を確立しています。

  • IntelliEPI社の独自技術である in-situモニタリングシステムは、エピ成長中の分子線の状態を リアルタイムでモニタし、記録する技術です。その技術により、高い膜厚精度、ドーピング精度を実現し、 ウエハー自体の製膜精度はもとより、ウエハー間(Run-to-Run)の均一性も向上させました。 その結果、エピウェハの量産化において最も重要な、均一性、再現性に優れ、「良いエピウエハーを短納期で提供できる」と、 多くのお客様から高い評価と信頼を戴いております。
Ｉn-growth Sensor Technology
エピ成長　in-situ モニタリングシステム


米国特許取得済みの、in-situモニタリングシステムは、エピ成長に影響の無い、光学機器を使用して、各データを収集、独自解析ソフトにより解析し、各種パラメータをコントロールしております。
in-situ モニタリングシステム　イメージ図
Optical-based Flux Monitor (OFM):
各元素を吸収する光ビームにより、３グループ（Al、Ga、In）の分子線量を観測、各元素のcompositionを観察します。

OFM　非接触によるエピ成長組成測定
Compositionの値をOFMと、X-Rayで比較した図表です。
X-Rayで確認した値とほとんど変わりません。


in-situモニタリングシステム参考資料
 sensor.pdf

In-situモニタリングシステムは、結果的に・・・・

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Epi Wafer Structures
ご要求により、下記Epi-waferを提供しております。

For RF and Microwave:

  • GaAs pHEMT
  • GaAs mHEMT
  • InP HEMT
  • InP HBT
For High Speed Digital:
  • InP SHBT/DHBT
  • InP HEMT
  • GaAs mHEMT
  • GaAsSb DHBT
For Optoelectronics:
  • GaAs PIN/APD
  • InP PIN/APD
  • QWIP (Quantum Well Infrared Photodetector)
  • Diode Laser
  • Type-Ⅱ SLS
  • Modulator
III-V on Si (R&D):
  • GaAs, InGaAs and InSb on patterned Si
  • Epi wafer size up to 200mm

赤字部については、量産体制が既に整っております。

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InP Product Detail

InP Epi Wafers:

  • HEMT
  • SHBT (InP/InGaAs, InAlAs/InGaAs)
  • DHBT (InP/InGaAs, InAlAs/InGaAs)
  • PIN, RTT, RTD
  • Opto and other RF devices
InP Doping Concentration Ranges:
  • Si in InGaAs, InP, InAlAs, InGaAlAs - 1E16 to 3E19
  • Be in InGaAs and InP - 1E17 to (4-5)E19
  • C in InGaAs and InP - 1E17 to 1E20
Uniformity Tolerances from-run-to-run:
  • +/- 5% for doping concentration
  • +/- 5 - 10% for layer thickness 小ロット時
  • +/- 3% for layer thickness 大ロット時
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Carbon Doping using CBr4
CBr4ガスソースを使用して、InGaAsのカーボンドーピング濃度 1E20xcm-3を達成しております。

カーボンドーピングデータ参考資料
CBr4.pdf

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GaSb基板の製造販売
GaSb基板を、自社工場にて製造しております。サイズは2/3/4インチ、Pタイプ/Nタイプが有ります。
詳細情報につきましては、弊社までお問い合わせ下さい。

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Intelli Epi プレゼン資料


2015年版 IntelliEPI紹介資料
IntelliEpi Company Information (PDF)


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